Kawotchou perfluoroether (FFKM)se yon materyèl sele ekselan. Akòz pèfòmans siperyè li yo, li te jwenn itilizasyon toupatou nan sistèm fabrikasyon semi-conducteurs la. Youn nan consommables prensipal ki nesesè pou pwodiksyon sikui entegre yo se bag sele perfluoroether.
Monomè prensipal yo nan kawotchou perfluoroetè yo se tetrafluoroetilèn ak perfluoroalkyl vinil etè, ki se copolymerized ak yon ti kantite twazyèm monomè ak pwen vulkanizasyon. Li se yon kawotchou ki pa gen okenn lyezon CH ditou. Kontni an fliyò nan estrikti molekilè li yo, estrikti a ak kontni nan etè vinil perfluorinated, ak enèji nan kosyon ak kantite nan lyezon retikul nan pwosesis la vulkanizasyon tout enfliyanse pèfòmans nan konpoze vulkanize a ak tanperati tranzisyon an vè. Estrikti a ak eleman yo diferan, menm jan ak pèfòmans yo. Sa ki annapre yo se karakteristik pèfòmans prensipal kawotchou perfluoroether:
1) Pwopriyete fizik: Dansite a se 1.9-2.0g/cm3, pwopriyete fizik ak mekanik yo sanble ak fluororubber, ak seri konpresyon tanperati ki wo se siperyè fluororubber.
2) Rezistans chimik: Li reziste chimikman.
3) Rezistans nan tanperati ki wo ak ba: tanperati opere a se tipikman 260290 degre, men li ka itilize tanzantan nan 316 degre. Tg (tanperati tranzisyon vè) nan kèk kawotchou perfluoroether se -19 degre.
4) Rezistans nan vapè wo-tanperati.
5) Ba presipitasyon ak lage.
6) Rezistans nan plasma.
Li gen gwo pwòpte ak karakteristik pwodwi presipitasyon ki ba nan anviwònman an plasma, epi li ka kenbe tèt ak enpak plasma pou yon tan long.Fyab nan elastomèr garnitur se kritik nan fabrikasyon semi-conducteurs, ak pri pou sispann pwodiksyon pou ranplase garnitur yo trè wo. Kondisyon pou pwòpte ak pite sele yo trè sevè pou evite risk potansyèl yo. An menm tan an, sele yo dwe kapab travay pou yon peryòd tan pwolonje anba presyon yon vakyòm segondè, gaz chimik korozivite, ak yon anviwònman tanperati ki wo.
Perfluoroether kawotchou matyè premyè yo chè epi yo souvan itilize nan fabrikasyon semi-conducteurs. Li rezistan a korozyon plasma, korozyon gaz, korozyon asid ak alkali, korozyon tanperati ki wo, kondisyon pou pwòpte segondè pou sele kawotchou, ede kenbe entegrite sele a, diminye tan antretyen ak amelyore sekirite, epi li se sele ki pi bon pou fabrikasyon semi-conducteurs. Materyèl.